フープ

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フープ英語:foup)とは、半導体製造工程でウエハーを入れて移動させるための容器のことである。

概要[編集]

ウエハー専用のキャリーバッグである。 フープに格納して次の加工工程まで移動させる。

関連項目[編集]

参考文献[編集]