Alpha 21264Cとは、DECが開発した世界初の1GHzで動作する量産型のCPUあり、DEC最期のCPUである。
コードネームは「EV68CB」。
設計はジム・ケラー率いるチームにより行われた。
製造はIBMに委託され、リサ・スーの発明した7層銅配線と低誘電率絶縁膜を用いた0.18μm CMOS プロセスで製造された。
1550万トランジスタ
ダイ面積は 120mm2
Compaq AlphaServer ES45やSC45、HP AlphaStation DS25などに搭載された。